中新网1月22日电 据军报记者网报导，记者今日从国防科技大学得悉，由该校机电工程与自动化学院自主研发的新一代超精细光学零件加工设备，日前通过相关单位安排的工艺查核。结果表明，该套设备加工精度完成亚纳米级严重打破，其典型实验件的光学零件面形精度RMS(均方根)值到达0.361纳米，标志我国超精细光学零件加工技能跨入世界领先队伍。
超精细加工技能是先进配备制作的关键性瓶颈技能，纳米精度被誉为超精细加工技能“皇冠上的明珠”。曩昔，因为我国光学零件加工技能落后，无法进行大口径、高精度、复杂面形的光学零件加工，严峻限制相关范畴的技能进步。20世纪80年代以来，该校精细工程立异团队在李圣怡教授带领下，通过30多年顽强拼搏与自主立异，先后打破高精度机床精细运动组织规划、高效磁流变抛光液制作、离子束安稳操控、光学元件亚纳米全频段差错操控等中心关键技能，研发出一系列具有自主知识产权的磁流变、离子束抛光设备，打破了发达国家对超精细加工设备的技能封闭，使我国成为继美、德之后全面把握磁流变和离子束抛光配备两种高精度光学零件加工技能的国家。
近年来，该校精细工程立异团队在“极大规划集成电路制作配备与成套工艺”国家严重科技专项二期项目和国家自然科学基金严重项目支持下，研发成功新一代离子束抛光机床与数控光顺抛光机床，其最小可控资料去除量到达0.1纳米。有关专家指出，这一自主立异效果可为“极大规划集成电路制作配备与成套工艺”、“高分辨率对地观测体系”等国家严重科技专项供给有力技能保证和配备支撑，将直接促进相关范畴关键技能打破，关于提高我国先进配备制作水平具有重要意义。(记者王握文、通讯员王孝恭、汪东)
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